鋼研納克掃描電鏡假期開關機指南
新春假期將至，各位實驗室老師是否已做好精密設備的假期養(yǎng)護準備？掃描電鏡的規(guī)范開關機，是保障設備節(jié)后穩(wěn)定運行的關鍵。納克微束特整理鎢燈絲掃描電鏡SE-800及場發(fā)射掃描電鏡FE-1050T/FE-2050T開關機指南，為您的設備假期安全保駕護航。
1、關機方案
根據假期長短制定相應的關機方案。短期假期（≤1周）且實驗室不斷電，建議執(zhí)行省電模式；長期假期（＞1周），建議執(zhí)行整機斷電關機程序。
2、標準關機流程
1）短期假期（≤1周），省電模式
① 取出樣品，退出所有探測器，將樣品臺返回至初始位置；
② 關閉倉門抽真空，抽真空不少于3分鐘；
③ 在軟件中點擊省電模式按鈕；
④ 退出電鏡軟件，按正常程序關閉電腦。
2）長期假期（＞1周），關閉高壓發(fā)射后，省電模式，斷電
同上①-④步后，⑤旋停主機后邊的旋鈕總開關。
1）短期假期（≤1周）
① 打開電腦，登錄軟件；
② 取消省電模式并抽真空。
2）長期假期（＞1周）
① 打開主機后邊的旋鈕總開關；
② 后續(xù)步驟同上①-②步驟。
1、關機方案
場發(fā)射掃描電鏡要求實驗室假期保持供電。根據假期長短，制定相應的關機方案。
2、標準關機流程
1）對于短期假期（≤1周）
① 選擇***大FOV，樣品臺降至HOME位置，退出BSE探頭。卸載主倉室真空，取出樣品；
② 關閉倉門抽真空，不少于3分鐘；
③ 點擊用戶界面的省電模式按鈕，進入省電模式；
④ 退出SEM操作界面，關閉電腦主機。
注意：切勿關閉電鏡總電源。此狀態(tài)下離子泵、電子槍正常工作。
2）長期假期（＞1周）
① 取出樣品，退出所有探測器，將樣品臺返回至初始位置；
② 關閉倉門抽真空，不少于3分鐘；
③ NCS VISION軟件，在SEM、FEG HV Control菜單里，點擊Power Off，關閉高壓；
④ 把掃描電鏡切換到省電模式；
⑤ 退出SEM操作界面，關閉電腦主機。
3、標準開機流程
1）短期假期（≤1周），軟件切換到省電模式情況
① 打開電腦，登錄軟件；
② 取消省電模式并抽真空。
2）長期假期（＞1周），僅關閉高壓發(fā)射，軟件切換到省電模式情況
① 打開電腦，登錄軟件。觀察鏡筒的真空值（＜1.0×10-7Pa），點擊PUMP抽真空；
② 在SEM、FEG HV Control菜單里，點擊Power On，開啟高壓。
03
確保溫度、濕度符合設備使用要求。溫度17-24℃，相對濕度＜65%。避免粉塵、振動和強電磁干擾。
開啟省電模式的設備，確保電源供應穩(wěn)定。檢查壓縮空氣系統(tǒng)，確保輸出壓力穩(wěn)定、無漏氣現象。整機關機斷電的設備，關注防塵和防潮。
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