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優勢

改善了氣體輸送性能和生產產量

便于在設備上整合

大幅節約了氣體面板成本

減小了氣體面板尺寸

提高了安全性

實時通信和控制

世界***的服務和支持

延長了系統正常運行時

特點

穩壓運行

精確性和可重復性高

整合式氣體面板組件

現場氣體檢驗，多氣體、多范圍配置

現場可編程

DeviceNet? 控制

板上顯示

整合式診斷

全金屬密封

超純設計

其流量范圍范圍分不同的等級，分別有2sccm至4sccm、5sccm至9sccm、10sccm至30sccm、31sccm至100sccm、101sccm至300sccm、301sccm至1000sccm、1001sccm至3000sccm、3001sccm至10000sccm、10001sccm至30000sccm、30001sccm至50000sccm.

精度:≤±1% of setpoint(25%-100% FS);≤±0.25% FS (2%-25% FS); 最大工作壓力:100 psiA(690 kPaA)

集熱溫感式 MFC

Aera PI-980系列穩壓型質量流量控制器

憑借業界***的流量控制技術，Aera? PI-980? 系列非壓敏型 MFC（質流控制器）可預測新***代半導體制造制程不斷增長的需求，這些制程包括蝕刻、化學汽相沉積、物理汽相沉積和擴散。與先前的技術或競爭對手產品相比，這***創新的技術平臺提供了更迅速的響應、更高的氣體流量穩定性、更高的精確度以及***流的實時制程控制。較高的流量穩定性提供了更好的腔室到腔室制程可重復性，從而提高了生產產量。
PI-980 MFC 的新***代設計將傳統的熱流量架構與***個壓力傳感器、溫度傳感器以及 NeuralStep? 控制技術進行了整合，從而創造了***個單***而精簡的輸送包，省去了以往***直需要使用的眾多昂貴的氣體面板組件。多氣體、多范圍功能大幅降低了支持性物品的要求，從而進***步提高了成本效率。除了整合式診斷，新***代 MFC 技術還被整合進了我們得到現場驗證的 D980 系列產品平臺，以延長系統正常運行時間，并使故障的發現和修理變得快速而簡易。