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HPG400皮拉尼真空計詳細(xì)資料

優(yōu)點(diǎn)：

極寬的測量范圍從5x10-10毫巴至大氣壓(3.8x10-10乇至大氣壓)

極好的重復(fù)性,過程壓強(qiáng)范圍10-8 … 10-2毫巴均為5%

皮拉尼連鎖保護(hù)燈絲,防止過早燒毀

雙敷涂釔的氧化銥長壽命燈絲

可選圖形顯示和現(xiàn)場總線接口

自動高真空皮拉尼調(diào)整,減少操作人員的干預(yù)

容易更換具有在機(jī)校準(zhǔn)的傳感元件,保證高度重復(fù)性

應(yīng)用：

半導(dǎo)體工藝和輸送室中的壓強(qiáng)測量

工業(yè)鍍膜

***般真空測量和控制,從低至超高真空范圍

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INFICON高壓熱電離皮拉尼真空計

產(chǎn)品型號:HPG400

INFICON公司生產(chǎn)的HPG400型高壓強(qiáng)熱電離皮拉尼真空計將高壓強(qiáng)熱電離與皮拉尼規(guī)管綜合在***個小型、
輕便與經(jīng)濟(jì)的規(guī)管中，測量壓強(qiáng)從2×10-6至1000毫巴(1.5×10-6至750乇)。HPG400提供高度的重復(fù)性
和再現(xiàn)性壓強(qiáng)測量，用于精確的濺射過程的壓強(qiáng)控制