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主要特點： 1、閉環DC伺服電動機 XYZ載物臺保證***定位和高的聚焦重復性 2、XY操縱桿廣泛的動態速度范圍 3、利用ASI's Z-軸驅動 4、Z-軸離合器方便轉換手動電動聚焦控制 5、LCD顯示XYZ的配合 6、"Zero" 和 "Home" 按鈕方便獨立操作 7、控制范圍

技術指標：

XY移動范圍

Upright:   100 mm x 100 mm

Inverted:   114 mm x 90 mm

XY 軸分辨率

0.088 μm

XY 軸RMS可重復性

< 0.8 μm (typical)

XY 軸***大速率

7 mm/sec

Z 軸分辨率

0.05 μm

Z 軸可重復性

± 0.1 μm (typical)

Z 軸***大速率

0.6 mm/sec

MS-2000 Options

為高精度定位和聚焦控制配備的X, Y, & Z 軸線性編碼器

大的載物臺頂板，方便顯微操作

載物臺附加側板，增大空間

CRIFF 持續反饋聚焦系統，專為長時間聚焦

其他可選螺桿

可選螺桿

Lead Screw Pitch Options

Rotary Encoder Resolution

Maximum Speed

12.70 mm  (Super-coarse)

176 nm

14 mm/sec

6.35 mm  (Standard)

88 nm

7 mm/sec

1.57 mm  (Fine)

22 nm

1.75 mm/sec

0.318 mm  (Ultra-fine)

4.4 nm

0.35 mm/sec

Standard Lead Screw Accuracy is 0.25 μm per mm.

可選的線性編碼器

Axis

Scale Resolution

Scale Accuracy

XY

20 nm

0.5 μm per 10 mm

1.5 μm per 100 mm

Z   (12 mm and 25 mm stroke)

50 nm

0.03 μm per mm