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二十多年來(lái)，基于日漸完善的Gemini技術(shù)，GeminiSEM具有完整高效的檢測(cè)系統(tǒng)、極高的分辨率以及簡(jiǎn)便的操作方式。Gemini物鏡設(shè)計(jì)將靜電場(chǎng)與磁場(chǎng)結(jié)合，可在限度地提升光學(xué)性能的同時(shí)將場(chǎng)發(fā)射對(duì)樣品的損傷降至。此設(shè)計(jì)確保了極佳的成像質(zhì)量，即使是較具挑戰(zhàn)性的磁性材料也同樣可以達(dá)到良好的成像效果。通過(guò)二次電子和背散射電子的檢測(cè)也使得高效率的信號(hào)探測(cè)成為可能。探測(cè)器安裝在光軸上，可以減少調(diào)整時(shí)間，并可限度地降低成像時(shí)間。Gemini電子束加速器技術(shù)確保了小的探針尺寸和高的信噪比，以達(dá)到超低的加速電壓。

【技術(shù)參數(shù)】

分辨率： 0.8nm @15 kV   1.4 nm @1kV

放大倍數(shù)：12-2,000,000×

加速電壓：調(diào)整范圍：0.02-30 kV（無(wú)需減速模式實(shí)現(xiàn)）

探針電流： 3pA-20nA（100nA可選）

低真空范圍： 10-500Pa （GeminiSEM300 VP可用）

樣品室： 330 mm（φ），270 mm（h）

樣品臺(tái)：5軸優(yōu)中心全自動(dòng)    

X=130mm

Y=130mm

Z=50 mm

T=-3o-70o

R=360o 連續(xù)

系統(tǒng)控制：基于Windows 7的SmartSEM操作系統(tǒng)，可選鼠標(biāo)、鍵盤、控制面板控制

【產(chǎn)品應(yīng)用】       

掃描電鏡(SEM)廣泛地應(yīng)用于金屬材料(鋼鐵、冶金、有色、機(jī)械加工)和非金屬材料(化學(xué)、化工、石油、地質(zhì)礦物學(xué)、橡膠、紡織、水泥、玻璃纖維)等 檢驗(yàn)和研究。在材料科學(xué)研究、金屬材料、陶瓷材料、半導(dǎo)體材料、化學(xué)材料等領(lǐng)域進(jìn)行材料的微觀形貌、組織、成分分析，各種材料的形貌組織觀察，材料斷口分 析和失效分析，材料實(shí)時(shí)微區(qū)成分分析，元素定量、定性成分分析，快速的多元素面掃描和線掃描分布測(cè)量，晶體、晶粒的相鑒定，晶粒尺寸、形狀分析，晶體、晶 粒取向測(cè)量。