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儀器簡介：

      JSM-7600F是日本電子株式會(huì)社2008年下半年推出的兼顧冷場的高分辨率和熱場大束流為***體的熱場發(fā)射掃描電鏡，它幾乎集成了當(dāng)今掃描電鏡的全部前沿技術(shù)，200nA的大電流在保證高分辨率的同時(shí)，得到高速樣品分析結(jié)果，空間分辨率極高，對(duì)導(dǎo)電性差的樣品也有很多解決辦法。JSM-7600F自動(dòng)化程度高，操作直觀方便，可以稱得上是***款***次的場發(fā)射掃描電鏡。詳情請(qǐng)咨詢?nèi)毡倦娮又晔綍?huì)社各地事務(wù)所。

技術(shù)參數(shù)：

1.分辨率：1.0nm(15kV)/1.3nm(1kV)
2.加速電壓：0.1KV-30kV
3.放大倍數(shù)：25-100萬倍
4.樣品室尺寸：200mm直徑樣品
5.束流強(qiáng)度：1pA到200nA

主要特點(diǎn)：

1. 長壽命高亮度電子槍,壽命保3年,電流400nA以上

2. 兼顧超高分辨和大電流

3. 無漏磁和半漏磁物鏡可切換

4. 標(biāo)配的五軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng)全對(duì)中樣品臺(tái)

5. 全自動(dòng)樣品更換氣鎖

6. 全自動(dòng)樣品臺(tái)監(jiān)控系統(tǒng)

7. 全自動(dòng)物鏡光闌

8. 多通道顯示系統(tǒng)

9. 減速系統(tǒng)標(biāo)準(zhǔn)配置

10. 能量過濾器標(biāo)準(zhǔn)配置

11. 可以選配1.5nm高分辨LABE背散射電子探頭

12. 可以選配掃描投射探頭（STEM）