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SE1000 全光譜橢偏儀

(TABLE TOP SPECTROSCOPIC ELLIPSOMETER)

SEMILAB 光譜型橢偏儀是多功能薄膜測(cè)試系統(tǒng)，適合各種薄膜材料的研究。

產(chǎn)品描述

SE-1000型橢偏儀采用手動(dòng)變角裝置來(lái)設(shè)定測(cè)試的入射角，樣品臺(tái)也采用手動(dòng)方式，在測(cè)試的準(zhǔn)確性和靈活性與SE-2000保持***致的情況下，為客戶(hù)提供了***款極具競(jìng)爭(zhēng)力的橢偏測(cè)試設(shè)備。另***方面，SE-1000型全光譜橢偏儀采用了*新設(shè)計(jì)的光學(xué)部件以及*新版本的測(cè)試分析軟件（SAM/SEA），極大地提高了設(shè)備的運(yùn)行穩(wěn)定性和數(shù)據(jù)處理能力。

與SE-2000平臺(tái)***樣，SE-1000全光譜橢偏儀同時(shí)也是***個(gè)多功能測(cè)試平臺(tái)，采用模塊化的設(shè)計(jì)，可集成FTIR紅外光譜測(cè)試模組、渦電流法非接觸式或4PP接觸式方塊電阻測(cè)試模組、Mueller Matrix各項(xiàng)異性材料測(cè)試模組、Raman結(jié)晶率測(cè)試模組、電子遷移率表征模組、LBIC光誘導(dǎo)電流測(cè)試模組、反射干涉測(cè)試模組等多種功能，用戶(hù)可根據(jù)測(cè)試需求合理選擇搭配功能。

產(chǎn)品特點(diǎn)

業(yè)界標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試機(jī)構(gòu)定標(biāo)設(shè)備，參與發(fā)布中華人民共和***橢圓偏振測(cè)試技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)

針對(duì)研發(fā)及實(shí)驗(yàn)室測(cè)試設(shè)計(jì)，能降低測(cè)試成本

模塊化設(shè)計(jì)，可綜合監(jiān)控樣品光學(xué)和電學(xué)特性

定期免費(fèi)升***SOPRA材料數(shù)據(jù)庫(kù)

開(kāi)放光學(xué)模型擬合分析過(guò)程，方便用戶(hù)優(yōu)化測(cè)試菜單

主要應(yīng)用

光伏行業(yè)：薄膜電池透明導(dǎo)電膜、非晶硅微晶硅薄膜電池、CIGS薄膜電池、CdTe薄膜電池、有機(jī)電池、染劑敏感太陽(yáng)能電池

半導(dǎo)體行業(yè)：High-K、Low-K、金屬、光刻工藝、半導(dǎo)體鍍膜工藝、外延工藝

平板顯示行業(yè)：TFT、OLED、LTPS、IGZO、彩色濾光片

光電行業(yè)：光波導(dǎo)、減反膜、III-V族器件、MEMS、溶膠凝膠

主要技術(shù)指標(biāo)

手動(dòng)變角范圍：45°-75°（*小步進(jìn)5°）

光譜范圍：245-990nm

樣品尺寸： 200mm

厚度測(cè)量范圍：0.01nm-50um（取決于樣品類(lèi)型）