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特點(diǎn)：

• 配備溫度跟蹤式電流差檢測(cè)型流量傳感器，實(shí)現(xiàn)高精度，高速響應(yīng)

• 采用常閉閥門(mén)，方向操作安全

• 采用隔膜閥，減少死體積

• F.1. SCCM分鐘流量支持（SR選項(xiàng)）

• 低壓差兼容燃?xì)饪刂疲↙P選項(xiàng)） 

日本KOFLOC 3200系列質(zhì)量流量控制器

性能參數(shù)：

日本KOFLOC 3200系列質(zhì)量流量控制器：

應(yīng)用于多個(gè)OEM設(shè)備場(chǎng)合，尤其適合微小流量測(cè)量，適用于燃?xì)獾蛪毫Α⑿孤y(cè)試的低流量、半導(dǎo)體等使用，±15VDC供電性能穩(wěn)定，0-5V模擬信號(hào)更加通用，可定制0.02-1SCCM微小流量。

★使用注意

***：進(jìn)氣管道上建議安裝上的過(guò)濾器、油水分離器使用，保證氣體的干燥干凈《濕度不超過(guò)90%(***定不能進(jìn)水)、雜質(zhì)粉塵不超過(guò)20微米》。

二：用肥皂水對(duì)管路進(jìn)行泄漏檢測(cè)時(shí)，只能將肥皂水噴灑在管路接頭上，不能?chē)娫趦x表或電氣插頭上。

三：安裝前，請(qǐng)將設(shè)備管路進(jìn)行整體吹掃。

四：耐壓1.0Mpa，進(jìn)口大壓力5公斤。

五：需要進(jìn)行零點(diǎn)漂移清零的時(shí)候，確認(rèn)進(jìn)/出口沒(méi)流量沒(méi)壓力下 再操作