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芬蘭FocalSpec的在線粗糙度缺陷掃描儀又叫線共焦掃描儀，主要是利用光譜儀將發光二極管發出的光分散成不同波長不同高度的光，這些光聚焦在同一聚焦面并照射到樣品表面，通過分光儀分析樣品表面所反射的光。根據反射光波長變化，判斷樣品表面信息。